DMF elektronického stupňa (väčší alebo rovný 99,99%)
Elektronická trieda DMF (väčšia alebo rovná 99,99%) identita produktu
Ultra-vysoká čistota DMF (CAS 68-12-2) pre polovodičovú litografiu, splnenie štandardov Semi C12 .
Jedinečné vrcholy
Kovy: Cu/Ni/Fe menší alebo rovný 0,05 ppb (overené ICP-MS)
Kontrola nanočastíc: Menej ako alebo rovná 5 časticám/ml (väčšie alebo rovnajúce sa 0,1 μm, SLA -4)
Kritická aplikácia: Strihovanie fotorezistu EUV (uzly L/S 5NM)
Technická špecifikácia
| Parameter | Hodnota |
|---|---|
| Anizolový obsah | Menej ako 1 ppm |
| Dielektrická konštanta | 36,91 ± 0,02 (25 stupňov) |
| Výstup (TGA) | Menej ako alebo rovná 50 ug/cm² |
Balenie
20L fluórované fľaše HDPE
Čistá miestnosť triedy 10
Populárne Tagy: DMF elektronického stupňa (väčšie alebo rovné 99,99%) - polovodičové litografické aplikácie, DMF Electronic Grade (väčšie alebo rovné 99,99%) - Výrobcovia litografie polovodičov, filtračná pomoc dipolárna aprotic
